Innri yfirspenna er umbreytingarferli frá einu stöðugu ástandi í annað vegna skyndilegrar breytinga á ástandi kerfisins vegna reksturs, slysa eða annarra ástæðna, sem geta verið hættulegar kerfinu meðan á þessu ferli stendur.
Þessar yfirspennur orsakast af sveiflu og uppsöfnun rafsegulorku í kerfinu, svo þær eru kallaðar innri yfirspennur.
